클린룸 품질 모니터링을 위한 신뢰할 수 있는 입자 계수
FPM-Particle은 얇은 유리 기판을 고정밀로 검사하여 입자 분포에 대한 통계적 분석을 제공합니다. 이 시스템은 고해상도 카메라와 특수 조명 기술을 통해 마이크로미터 범위까지 입자를 감지하고 크기별로 입자를 분류합니다. 따라서 클린룸 품질을 모니터링하고 청소 프로세스를 최적화하기 위한 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다.
사용자는 확장 제품인 FPM-Inspect, FPM-Edge 및 FPM-Review를 추가하여 표면 및 엣지 검사로 입자 검사를 강화하고, 감지된 결함을 조사하기 위한 자동 현미경을 추가할 수 있습니다.
- 웹 또는 전체 기판 검사를 위한 개별 또는 다중 센서 셋업
- 전체 제품군에 대한 표면 및 엣지 검사와 검토 단계
- 얇은 유리 기판을 위한 매우 짧은 검사 라인
- 서브 미크론 입자 계수
- > 99,9 % 윗면/아랫면 분류
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