선택된 결함에 대한 현미경 분석
아주 작은 결함도 신뢰할 수 있는 품질 등급을 보장하기 위해 FPM-Review는 자동 현미경을 사용하여, FPM-Inspect에서 검출된 결함을 더 자세히 분석합니다. 고해상도 현미경 이미지를 기반으로 결함 분류를 재확인하고, 결함의 크기를 정밀하게 측정하고, 유리 내 위치를 파악합니다. 수집된 정확한 정보는 추가 가공 또는 납품을 위한 사양을 충족하는 판재에 대한 신뢰할 수 있는 등급을 보장합니다.
최고 이미지 해상도의 넓은 시야각을 갖춘 FPM-Review는 여러 스테이션으로 이동된 후에도 모든 결함을 안정적으로 찾아 이미지화합니다.
이 시스템은 유리 기울기나 뒤틀림의 영향을 받지 않도록 특별히 설계된 거리 센서를 사용하여 유리 내 결함의 정확한 깊이를 측정합니다. 듀얼 헤드 (Dual-head 구성(옵션))을 사용하면 짧은 사이클 시간 내에 더 많은 결함을 검사할 수 있습니다.
추가 제품인 FPM-Inspect와 FPM-Edge는 표면 검사 및 엣지 검사 시스템으로 검사 라인을 완성할 수 있습니다.
- 정확한 결함 깊이 측정
- 결함 적중률 100%를 위한 넓은 FOV
- 표면 및 유리 결함뿐만 아니라 스크래치까지 감지하는 다기능 센서
- 정확한 크기 정보
- 결함 재분류
추가 자료 다운로드
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